F'tagħmir modern tal-kisi bil-vakwu, l-istadju tal-ħruxija huwa pedament kritiku għall-kisba ta 'prestazzjoni ta' vakwu għolja-stabbli. Konfigurazzjoni użata ħafna hija d-DLT.2V80 b'żewġ -pompa rotary vane f'żewġ stadji flimkien ma' pompa Roots. Dan it-tqabbil jifforma unità ta' pre-vakwu effiċjenti li kapaċi tnaqqas malajr il-pressjoni tal-kamra mil-livell atmosferiku għall-medda ta'-vakwu baxxa, u toħloq il-kundizzjonijiet meħtieġa għall-istadju sussegwenti tal-ippumpjar tal-vakwu għoli-. Il-fehim tal-proċess ta 'tħaddim korrett u l-loġika teknika ta' din is-sistema huwa essenzjali għaż-żamma tal-kwalità tal-kisi, il-protezzjoni tat-tagħmir, u l-estensjoni tal-ħajja tas-servizz tal-pompa.
Is-sistema ta ' roughing taħdem fuq prinċipju ta ' l-ippumpjar fi stadji. Il--pompa rotatorja b'żewġ stadji taġixxi bħala l-pompa ta' rinforz, filwaqt li l-pompa Roots tipprovdi veloċità għolja ta' ippumpjar fil-medda ta' vakwu medja-sa-baxxa. Waqt il-bidu-up, il-pompa tal-vane li jdur l-ewwel tnaqqas il-pressjoni tal-kamra. Ladarba l-pressjoni tilħaq il-pressjoni tal-bidu permissibbli tal-pompa Roots, il-pompa Roots tibda topera, u taċċellera ħafna t-tneħħija tal-gass. Dan l-ippumpjar ikkoordinat jippermetti li l-kamra tagħmel tranżizzjoni malajr mill-pressjoni atmosferika għall-firxa ta' vakwu baxx-meħtieġ qabel ma jiġu attivati pompi tal-vakwu għoli- (bħal pompi tad-diffużjoni jew turbomolekulari).
Rekwiżit ewlieni tal-proċess iseħħ wara li jitlesta l-istadju mhux maħdum tal-ippumpjar. Qabel ma taqleb għal vakwu għoli jew tidħol fl-istadju taż-żamma tal-vakwu, il-pipeline tal-ħxuna għandha tiġi evakwata u l-pressjoni-ibbilanċjata. Dan il-pass ħafna drabi jiġi injorat iżda huwa vitali għall-prevenzjoni tal-backflow tal-vakwu. Jekk jibqgħu differenzi fil-pressjoni bejn il-linja tal-ħruxija u l-kamra, iż-żejt tal-vakwu mill-pompa tal-vane li jdur jista 'jiċċarġja lura fil-kavità tal-pompa tal-Għeruq, il-pajpijiet, jew saħansitra l-kamra tal-kisi. Il-kontaminazzjoni taż-żejt tista 'tagħmel ħsara serja lill-kwalità tal-film irqiq, timblokka l-kanali tal-gass, u żżid l-ispejjeż tal-manutenzjoni.
Proċedura operattiva xierqa tibda immedjatament wara li l-kamra tilħaq il-livell ta 'vakwu mhux maħdum fil-mira. Il-valv ewlieni tal-roughing li jgħaqqad il-kamra mal-linja tal-roughing għandu jingħalaq l-ewwel. Dan iżola l-kamra mis-sistema tal-pompa ta 'wara u jipprevjeni varjazzjonijiet mhux ikkontrollati tal-pressjoni. Sussegwentement, nitroġenu niexef jew arja kkompressata nadifa u niexfa għandhom jiġu introdotti fil-pipeline tal-ħxuna għal proċess ta' ventilazzjoni ta' mikro-pressjoni kkontrollata. Dan il-pass bil-mod iqabbel il-pressjoni fil-pipeline għal qrib il-livell atmosferiku mingħajr ma jintroduċi umdità jew kontaminanti.
Nitroġenu niexef huwa preferut minħabba li huwa inert u ma fih l-ebda fwar ta 'l-ilma jew ossiġnu, li t-tnejn jistgħu jiddegradaw iż-żejt tal-vakwu u jikkontaminaw il-komponenti tal-pompa interna. Jekk in-nitroġenu ma jkunx disponibbli, tista' tintuża arja kkompressata ffiltrata u mnixxfa, sakemm ikunu installati nases taż-żejt u tal-umdità. L-għan ta 'dan il-pass mhuwiex li jbattal kompletament il-kamra iżda li jistabbilizza l-pressjoni ġewwa l-pipeline roughing. Huwa biss meta l-pressjoni tal-pipeline terġa 'lura għal livell sikur li s-sistema għandha tgħaddi għall-modalità ta' żamma tal-vakwu jew għeluq.
L-importanza ta 'dan il-proċess ta' rkupru tal-pressjoni tal-pipeline testendi lil hinn mill-indafa. Jipproteġi wkoll l-integrità mekkanika tas-sistema tal-ippumpjar. Il-pompi rotanti tal-vane jiddependu fuq iż-żejt tal-vakwu għas-siġillar, il-lubrikazzjoni u t-tkessiħ. Differenzjali ta 'pressjoni f'daqqa jistgħu jikkawżaw migrazzjoni taż-żejt, ragħwa, jew backstreaming. Il-pompi ta 'l-għeruq, li joperaw mingħajr lubrikazzjoni interna fil-kamra tal-kompressjoni, huma speċjalment vulnerabbli għall-kontaminazzjoni miż-żejt tal-pompa ta' rinforz. Billi tistabbilizza l-pressjoni qabel l-iżolament, l-operaturi jnaqqsu l-ilbies, jipprevjenu l-qbid tal-pompa, u jimminimizzaw il-frekwenza tal-manutenzjoni.
Meta mqabbel ma' sistemi ta' roughing{0}}pompa waħda, il-kombinazzjoni tal-paletta rotanti flimkien mal-pompa Roots toffri veloċità ogħla tal-ippumpjar, ħin ta' waqfien tal-pompa iqsar-, u stabbiltà mtejba fiċ-ċikli tal-kisi industrijali. Madankollu, din il-prestazzjoni ogħla teħtieġ ukoll dixxiplina operattiva aktar stretta. Il-ventilazzjoni tal-pipeline, is-sekwenza tal-valv, u l-protezzjoni tal-gass niexef mhumiex passi fakultattivi; huma partijiet integrali tad-disinn tal-proċess.
Mill-perspettiva tal-industrija, il-kontroll tal-kontaminazzjoni sar dejjem aktar importanti hekk kif it-teknoloġiji tal-kisi javvanzaw lejn preċiżjoni ogħla u films irqaq. Anke traċċa fwar taż-żejt jista 'jaffettwa l-adeżjoni, il-prestazzjoni ottika, jew il-proprjetajiet elettriċi ta' saffi depożitati. Għalhekk, proċeduri standardizzati roughing issa huma kkunsidrati bħala parti mill-kontroll tal-kwalità fil-produzzjoni tal-kisi bil-vakwu.
Fil-qosor, l-istadju ta' roughing bl-użu ta' kombinazzjoni ta' pompa b'żewġ-stadji DLT.2V80 u pompa Roots hija aktar minn pass sempliċi pre-vakwu. Huwa proċess ikkontrollat bir-reqqa li jinvolvi ippumpjar fi stadji, iżolament tal-valv, venting tal-gass niexef, u stabbilizzazzjoni tal-pressjoni. Is-segwitu ta 'dawn il-linji gwida operattivi jiżgura kundizzjonijiet nodfa tal-vakwu, jipproteġi l-komponenti kritiċi tal-pompa, u jiggarantixxi prestazzjoni konsistenti tal-kisi tul ċikli twal ta' produzzjoni.